手套箱常見故障及解決辦法

1循環(huán)無法開啟

原因：電壓不穩(wěn)造成變頻器保護(hù)，導(dǎo)致無法開啟循環(huán)。

辦法：等電壓穩(wěn)定后重啟手套箱即可解決。

2再生時(shí)用氣量遠(yuǎn)小于從前

原因：手套箱內(nèi)有機(jī)1溶劑含量過高，循環(huán)時(shí)有機(jī)1溶劑進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng)，再生時(shí)有機(jī)1溶劑堵塞再生氣管路上的單向閥所致。

辦法：①將單向閥換為直通閥，從此再生壓力設(shè)置為0.03~0.04Mpa；②觀察再生氣流量計(jì)顯示是否在20ml/min左右，否則調(diào)整減壓閥壓力。

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1、循環(huán)和分析儀同時(shí)關(guān)掉

原因：①箱內(nèi)壓力瞬間過高，超過+12mbar，系統(tǒng)自動(dòng)保護(hù)；②電壓不穩(wěn)，造成系統(tǒng)保護(hù)。

辦法：①檢查壓力設(shè)置是否正確、壓力傳感器是否異常，箱體真空閥或補(bǔ)1氣閥是否損壞，壓力回復(fù)正常后，再開啟分析儀和循環(huán)。②檢查真空泵是否壞掉，無法運(yùn)行。

2、大、小倉無法補(bǔ)1氣

原因：①手套箱內(nèi)通往大小倉的氣孔可能被塑料薄膜等堵塞；②電磁閥是否沒有打開。

辦法：①根據(jù)管路走向，確定氣孔位置，疏通管路；②檢查線路及電磁閥。

3、大小倉無法抽氣

原因：①大小倉內(nèi)抽氣孔被塑料薄膜等堵塞或艙門漏氣；②倉門沒關(guān)緊，或是大小倉密封圈松動(dòng)。

辦法：①根據(jù)管路走向，確定氣孔位置，疏通管路；②關(guān)緊倉門，檢查大小密封圈；③檢查工作氣壓是否過低（因?yàn)榇髠}抽氣閥是氣動(dòng)閥）。

真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料；在金屬真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。放置樣品時(shí)，需小心不要用手觸摸過渡艙內(nèi)壁，請(qǐng)佩戴手套取放樣品。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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